МОСКВА, 19 сен - РИА Новости. Развитие собственной микроэлектроники не имеет альтернативы для обеспечения технологического суверенитета России, у отечественных разработчиков здесь есть серьезные и даже уникальные результаты, позволяющие с оптимизмом смотреть в будущее отрасли, и руководство государства полностью поддерживает ученых, заявил в интервью РИА Новости президент Российской академии наук (РАН) академик Геннадий Красников.
"Сегодня микроэлектронные технологии очень важны, а когда мы говорим о технологической независимости государства, то им альтернативы просто нет", - подчеркнул он.
"Сегодня микроэлектронные технологии очень важны, а когда мы говорим о технологической независимости государства, то им альтернативы просто нет", - подчеркнул он.
Красников рассказал о новых результатах, о которых будет идти речь на предстоящем в сентябре ежегодном российском форуме "Микроэлектроника" на территории федерального значения "Сириус".
"Во-первых, сегодня есть целая большая программа развития микроэлектронных технологий. Помимо производства и разработки интегральных микросхем, есть программа по созданию своего электронного машиностроения - то есть оборудования, которое традиционно находится под эмбарго для поставок в Россию. Данное направление очень важно для обеспечения технологического суверенитета, и у нас уже есть значительные результаты по ряду установок", - сказал глава РАН.
"Уже появился наш российский "степпер" для литографии, оборудование для атомарно-слоевого осаждения и травления, установки плазмохимического осаждения и травления различных пленок на пластинах различных диаметров, эпитаксиальные установки, в том числе для формирования нитрида галлия на кремнии. Сейчас идут большие работы с нашим участием по ионным имплантерам. Таких примеров много можно приводить", - добавил Красников.
Вторая программа – это особо чистые материалы, сказал он.
"Электронное производство работает круглосуточно, и материалы для него должны быть в постоянном доступе. Однако некоторые из них имеют такой срок хранения, что невозможно создать их стратегический запас. Это фоторезисты, различные химические растворы, проявители, поэтому здесь выполняется большая комплексная программа. На сегодняшний день у нас есть уникальные достижения, о которых мы будем докладывать правительству", - отметил Красников. Фоторезисты - полимерные светочувствительные материалы, необходимые для создания микроэлектронных изделий.
По словам Красникова, наиболее ключевое достижение – это разработка отечественного фоторезиста на длину волны 193 нанометра. "Причем такие фоторезисты есть буквально у единиц стран, даже Китай не может их производить. Это результат большой работы, которая длилась несколько лет, и продолжается по сей день", - отметил глава РАН.
"Уже появился наш российский "степпер" для литографии, оборудование для атомарно-слоевого осаждения и травления, установки плазмохимического осаждения и травления различных пленок на пластинах различных диаметров, эпитаксиальные установки, в том числе для формирования нитрида галлия на кремнии. Сейчас идут большие работы с нашим участием по ионным имплантерам. Таких примеров много можно приводить", - добавил Красников.
Вторая программа – это особо чистые материалы, сказал он.
"Электронное производство работает круглосуточно, и материалы для него должны быть в постоянном доступе. Однако некоторые из них имеют такой срок хранения, что невозможно создать их стратегический запас. Это фоторезисты, различные химические растворы, проявители, поэтому здесь выполняется большая комплексная программа. На сегодняшний день у нас есть уникальные достижения, о которых мы будем докладывать правительству", - отметил Красников. Фоторезисты - полимерные светочувствительные материалы, необходимые для создания микроэлектронных изделий.
По словам Красникова, наиболее ключевое достижение – это разработка отечественного фоторезиста на длину волны 193 нанометра. "Причем такие фоторезисты есть буквально у единиц стран, даже Китай не может их производить. Это результат большой работы, которая длилась несколько лет, и продолжается по сей день", - отметил глава РАН.
"С точки зрения элементной базы – много положительных результатов получено в области энергонезависимой памяти FeRAM, сделанной на основе оксида гафния, которая демонстрирует большой ресурс и время хранения, что очень важно для ее дальнейшего использования в микросхемах. Будет много схемотехнических решений - будут представлены нейронные процессоры, новая архитектура процессоров и новые технологии, потому что в Зеленограде идет модернизация чистых комнат. Об этом тоже мы будем говорить на нашей конференции", - отметил глава РАН.
Перед Россией в микроэлектронике стоят огромные вызовы, сказал Красников.
"Мы видим, как решать те задачи, которые перед нами поставлены в условиях жестких санкций. А санкции в первую очередь направлены на микроэлектронику, потому что она определяет сегодня очень многое – связь, энергетику. Здесь совместно с государством, с министерствами ведем работу", - отметил он. По его словам, в этих непростых условиях ученые видят полную поддержку со стороны государства и лично президента России Владимира Путина и премьер-министра Михаила Мишустина.
Предстоящий форум "Микроэлектроника" открывается 22 сентября, он соберет свыше 4 тысяч участников, на нем будет сделано более одной тысячи научных докладов, сообщил Красников. Форум объединяет деловую программу и выставку, где будут показаны основные достижения, полученные за год, прошедший с предыдущего такого же форума.
"Причем на форуме мы будем рассматривать не только микроэлектронные технологии, там будут еще и секции по квантовым технологиям, квантовой передаче данных, квантовым вычислениям, фотонике", - добавил глава РАН.
"Мы видим, как решать те задачи, которые перед нами поставлены в условиях жестких санкций. А санкции в первую очередь направлены на микроэлектронику, потому что она определяет сегодня очень многое – связь, энергетику. Здесь совместно с государством, с министерствами ведем работу", - отметил он. По его словам, в этих непростых условиях ученые видят полную поддержку со стороны государства и лично президента России Владимира Путина и премьер-министра Михаила Мишустина.
Предстоящий форум "Микроэлектроника" открывается 22 сентября, он соберет свыше 4 тысяч участников, на нем будет сделано более одной тысячи научных докладов, сообщил Красников. Форум объединяет деловую программу и выставку, где будут показаны основные достижения, полученные за год, прошедший с предыдущего такого же форума.
"Причем на форуме мы будем рассматривать не только микроэлектронные технологии, там будут еще и секции по квантовым технологиям, квантовой передаче данных, квантовым вычислениям, фотонике", - добавил глава РАН.